全自動(dòng)影像儀測量平面度的量測和傳統(tǒng)的還是有蠻大的改進(jìn)，全自動(dòng)影像測量儀利用光的反射原理，通過圖像傳感器拍攝工件影像進(jìn)行處理測量。而傳統(tǒng)的 CMM 利用接觸式測頭獲取空間點(diǎn)坐標(biāo)，通過計(jì)算得到被測物體的幾何參數(shù)。
　全自動(dòng)影像測量儀一次就可以獲取工件部分圖像，通過測量軟件可快速完成圖像上各點(diǎn)的測量，而接觸式坐標(biāo)測量機(jī)每次觸碰工件只能獲取一個(gè)測量點(diǎn)，因此在很多場合全自動(dòng)影像測量儀的測量效率要高于接觸式坐標(biāo)測量機(jī)。
平面度測量的常用的方法及測量原理
水平儀測量法：水平儀是一種測量小角度的常用量具。在行業(yè)和儀表制造中,用于測量相對于水平位置的傾斜角、機(jī)床類設(shè)備導(dǎo)軌的平面度和直線度、設(shè)備安裝的水平位置和垂直位置等。按水平儀的外形不同可分為：框式水平儀和尺式水平儀兩種；按水準(zhǔn)器的固定方式又可分為：可調(diào)式水平儀和不可調(diào)式水平儀。

常用水平儀：廣泛用于工件表面的直線度和平面度測量。測量精度高、穩(wěn)定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時(shí)需要反復(fù)挪動(dòng)儀器位置，記錄各測點(diǎn)的數(shù)據(jù)，費(fèi)時(shí)、費(fèi)力，調(diào)整時(shí)間長，數(shù)據(jù)處理程序繁瑣。
打表測量法：打表測量法是將被測零件和測微計(jì)放在標(biāo)準(zhǔn)上，以標(biāo)準(zhǔn)平板作為測量基準(zhǔn)面，用測微計(jì)沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線方向進(jìn)行測量。打表測量法按評(píng)定基準(zhǔn)面分為三點(diǎn)法和對角線法：三點(diǎn)法是用被測實(shí)際表面上相距遠(yuǎn)的三點(diǎn)所決定的理想平面作為評(píng)定基準(zhǔn)面，實(shí)測時(shí)先將被測實(shí)際表面上相距遠(yuǎn)的三點(diǎn)調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板等高；對角線法實(shí)測時(shí)先將實(shí)際表面上的四個(gè)角點(diǎn)按對角線調(diào)整到兩兩等高。然后用測微計(jì)進(jìn)行測量，測微計(jì)在整個(gè)實(shí)際表面上測得的大變動(dòng)量即為該實(shí)際表面的平面度誤差。
打表法測量同軸典型應(yīng)用為平板測微儀及三坐標(biāo)儀，其中優(yōu)以三坐標(biāo)儀為應(yīng)用廣泛。測量時(shí)指示器在待測樣品上移動(dòng)，按選定的布點(diǎn)測取各測量點(diǎn)相對于測量基準(zhǔn)的數(shù)據(jù)，再經(jīng)過數(shù)據(jù)處理評(píng)定出平面度誤差。但其效率較低，通常一個(gè)樣品需要幾分鐘，離15ppm的期望相差甚遠(yuǎn)。